| [ KAIST ] in KIDS 글 쓴 이(By): goldie (따리따꿈) 날 짜 (Date): 2004년 3월 13일 토요일 오후 11시 59분 33초 제 목(Title): Re: [q]poly-silicon poly-Si를 Gate로 쓰는 이유중의 하나는 work function 문제도 있습니다. (당연히 wolverin님 말씀처럼 후속 process 온도 문제도 있구요) Al gate보다 구동 측면에서 유리하고요.. 그런데.. 실리콘을 대충 대충 depo. 했다고 poly-Si가 만들어지지는 않는것 같습니다. 대충대충 하면 (저온) a-Si가 생기구요.. poly-Si를 대충대충 만들고 싶어서 돈 퍼붓는 회사도 있습니다. |