| [ KAIST ] in KIDS 글 쓴 이(By): doni (+ 도 니 +) 날 짜 (Date): 2001년 8월 2일 목요일 오후 04시 24분 15초 제 목(Title): Re: 진공중 물방울은 어떻게 되나요? 10^(-3) torr 에서 10^(-5) torr 까지 bakeout 없이 단순히 펌핑으로만 제거하려면 (mechanical rotary pump) 약 4개월 가량의 시간이 걸립니다. ^^ (챔버가 스테인레스스틸일 경우죠. 만약에 챔버내에 글라스 시스템이 있고 그 위에 water 가 흡착되어 있는 경우라면 1년 6개월 이상 걸릴 겁니다 ) 그래서 그냥 실험하려면 아마 굉장히 오래 걸리겠지요? :> - 너 뭐하니? - 응 진공뽑아. - 벌써 며칠째야? - 응 지금 6개월 째인데 한 일년은 더 기다려야 해. 뭐 이런 상황이 나올 듯 하네요. :> 그래서 rotary pump 를 backing pump 로 하고 diffusion pump 나 turbo molecular pump 를 fore pump 로 해서 진공장비를 운용합니다. 그래서 10^(-6) torr 환경을 만들어 준 후에 bakeout 을 하게 되는데 stainless steel 일 경우에 150-200 C 에서 약 24-48 시간 정도 베이킹을 해주어야 water vapour source 가 표면에서 제거되어서 펌프아웃이 되버립니다. glass system 일 경우엔 450 도 정도에서 베이킹을 해주어야 합니다. 왜냐하면 비정질구조내에 diffuse 되어있는 water 들이 계속해서 나오게되어서 진공을 깨버리거든요. :> 참고로 turbo molecular pump ( 이것도 mechanical pump 입니다) 로 얻을 수 있는 최저압력은 10^(-11) torr 정도입니다. 진공장비회사는 여러 군데가 있는데, 펌프는 Edward , Phi, Varian 등이 잘 알려져있는 회사입니다. VG Scientific 도 유명하고. 진공부품도 다룹니다. ------ From now on, your life will be a series of small triumph, small failure as it is life of all of us.... |