| [ KAIST ] in KIDS 글 쓴 이(By): guest (tot) <211.188.161.135> 날 짜 (Date): 2001년 6월 30일 토요일 오전 12시 47분 13초 제 목(Title): [질문] 반도체용 폴리이미드 안녕하세요? 반도체 재료 중에 쓰이는 폴리이미드(특히 감광성 폴리이미드)에 관한 질문입니다. 제가 알기론 폴리아믹산이나 암모늄염을 가지고 패턴을 만든 뒤에 300도 정도로 가열해 이미드로 만든다는데, 그렇지 않은 방법은 없나요? 위의 방법에서는 부산물로 물이 생기기 때문에, 그것도 좀 문제가 될 것 같고.. 300도 넘게 가열하면, 열팽창 계수의 차이 때문에, 패턴에 손상이 올 수도 있을 것 같고 한데.. 뭐 다른 방법이 있나요? |