| 글 쓴 이(By): rose (K) 날 짜 (Date): Tue Jan 5 13:31:39 KST 1993 제 목(Title): re: 김용진(급구) 저는 반도체동에 있는 학생입니다. Si echant 는 SF6가 가장 많이 쓰이고 CF4, NF3, Cl2, CCl2F2 등의 gas echant들이 있읍니다. 이들 중 CF4, NF3는 SiO2 echant 로도 쓰입니다. 제가 알고 있는 것은 이것이고 더 자세한 정보를 원하시면 반도체동 Si-lab의 이 호준 씨에게 문의하시기 바립니다.(8027,8046) rose |