| [ sciEncE ] in KIDS 글 쓴 이(By): caught (꿈의극장) 날 짜 (Date): 1999년 9월 14일 화요일 오전 04시 05분 15초 제 목(Title): Re: [Q]gas nozzle 진공 장치에서 증착되는 박막의 균일도를 향상시키는 방법으로 메쉬를 많이 사용하지요. 근데, 제 시스템에서는 메쉬는 되도 록이면 쓰지 않고 위에서 언급했던 노즐들이 뽕뽕뽕 뚫린 판대기(일명 샤워헤드)를 사용하고자 합니다. 단순히 플레이 트에 hole을 뚫는 것이 아니라 divergent angle을 가지도록 깔대기 모양으로 구멍을 뚫는다는 것이 좋다고 하기에 그러한 모양으로 드릴링하려고 하는데 과연 효과가 있을지 궁금해서 질문 드렸어요. 참고로 압력은 1Torr 정도입니다. |