| [ KJIST ] in KIDS 글 쓴 이(By): MRBLACK (MR.BLACK) 날 짜 (Date): 1998년03월05일(목) 04시05분09초 ROK 제 목(Title): Re: [Q]Density of films? X-ray reflectivity curve를 measure하여 thin films의 density를 알 수 있습니다. 물질에 따른 density(bulk value)는 알려져 있고 이값에 따라 X-ray reflectivity curve를 measure하였을때 Critical angle이 달라지게 됩니다. 가령 Si substrate위에 어떤 thin films이 deposition 되어 있을때 그 thin films의 interlayer와 thin films의 bulk resion의 density가 다를 경우 critical angle이 다르게 나타납니다. (두개의 density가 다른 두개의 물질로 인식하기 때문에 두개의 critical angle이 나타납니다. 물론, substrate의 critical angle도 나타납니다.) 상대적으로 dense한 물질의 critical angle이 더 큰 q_z값을 가집니다. X-ray reflectivity curve analysis는 그리 쉬운것이 아니지만, (상당히 어렵습니다. fitting cord도 만들어야 하고, 남이 만들어놓은게 있으면 편하지만,) X-ray reflectivity는 reciprocal space에서 origin으로부터 qz방향으로의 logitudinal scan을 말하는 것입니다. 다시 말하면, 낮은 qz값에서(낮은 twotheta angle) theta-twotheta scan을 하여 얻는것입니다. specular reflectivity와 diffuse reflectivity가 있습니다. 다른 방법으로는 반사율 측정방법이 있습니다. (지금, 장비 이름이 생각이 안 나지만) 그 방법으로 하면 쉽게 밀도를 측정할 수 있습니다. 도움이 되셨길.... |