| [ KAIST ] in KIDS 글 쓴 이(By): toki (토끼__) 날 짜 (Date): 2004년 11월 7일 일요일 오후 06시 47분 05초 제 목(Title): Re: [Q] 웨이퍼등 시료 깨끗하게 하는 방법 눈에 보이는 나름대로 큰 particle 들은 TCE->Aceton->Methanol 순의 standard cleaning정도로 다 떨어져 나옵니다. (물론 ultrasonic bath에서요) 근데 요즘은 TCE 안써요. 금지약품이죠 아마? 저정도만 해줘도 각종 processing에는 문제 없습니다. O2나 Ar plasma는 글쎄요... AFM으로 뭘 하시는 건진 모르지만, 수십A 정도의 데미지는 있을 거라 생각합니다. Cleaning recipe면 꽤나 power가 셀 거 같은데.. 저는 비추에 한표. 후배놈 하나가 RCA 하던 거 같던데 몇 번 하더니만 안하려고 하는 걸로 보아 이건 뭔가 안좋은 거 같습니다. 그냥 유기 cleaning 하세요. 그정도만 해줘도 표준 공정에는 아무 지장 없었습니다. N2 Blow만 잘 해 줘도 그럭저럭 쓸 수 있습니다. 보관만 잘 한다면요. |