| [ KAIST ] in KIDS 글 쓴 이(By): babo (배불떼기) 날 짜 (Date): 2001년 11월 10일 토요일 오후 07시 40분 51초 제 목(Title): [질문]반도체 설비용 pyrometer? 반도체 설비에서 웨이퍼의 온도나 척의 온도를 비접촉식으로 측정하는 pyrometer의 온도 측정 원리를 알고 싶습니다. 그리고 pyrometer의 maker에는 어떤 회사들이 있는지요.. 아시는 분들은 불쌍한 중생을 위해 알려주시면 감사하겠습니다... 그럼, 미리 감사합니당...꾸우뻐억~~~ |