| [ KAIST ] in KIDS 글 쓴 이(By): yimys (해롱이) 날 짜 (Date): 2001년 10월 25일 목요일 오후 11시 38분 26초 제 목(Title): Re: SAC(self aligned contact) 아시는 분 말씀하신 SAC이 반도체에서 쓰는 용어를 말씀하시는 거라면, 보통 ILD(Inter layer Dielectric)로 쓰이는 oxide 상에서 active에 contact을 뚫을때, Gate 옆에 nitride spacer를 달아놓고, oxide와 nitride의 선택비를 이용해서 spacer옆으로 self-align된 contact을 뚫는 것을 말합니다. 아마 반도체 공정 관련 책 (Sze나 Wolf등)을 보면 나와있지 않을 까 생각됩니다만... |