| [ KAIST ] in KIDS 글 쓴 이(By): Gatsbi (궁금이) 날 짜 (Date): 2000년 12월 14일 목요일 오후 03시 50분 32초 제 목(Title): [p]50nm급 트랜지스터 개발성공 카이스트 뉴스 2000 ------------------------------------------------------------------------------- - ■ [과기원 전자전산학과 신형철교수] 50nm급 트랜지스터 개발성공 주요일간지 2000.12.07 ------------------------------------------------------------------------------- - 테라급 차세대 반도체 메모리에 적용가능한 새로운 구조의 50㎚(나노미터=10억분의 1 )급 트랜지스터가 국내연구진에 의해 첫 개발됐다. 한국 과학기술원(KAIST) 전자전산학과 신형철교수 연구팀은 7일 “현재의 반도체 제조기술의 한계를 뛰어넘을 수 있는 방법을 모색하던 중 트랜지스터의 3극(소스· 드레인·게이트) 확장영역을 얇게 한 새로운 형태의 소자를 고안, 50㎚급 트랜지스터를 개발하는데 성공했다”고 밝혔다. 50㎚의 크기는 머리카락 굵기의 2000분의 1에 해당하는 크기. 신 교수는 “이번 소형의 고성능 트랜지스터의 개발에 따라 ‘시스템 온 칩(칩 자체의 시스템 구현)’개념을 쉽게 구현할 수 있어, 앞으로 인터넷 사용을 더욱 용이하게 할 수 있을 것”이라고 설명했다. 테라급 반도체는 현재 D램 분야 주력제품인 64MD램보다 1만6000배 이상, 256MD램보다는 4000배 이상의 정보를 저장할 수 있다. 과학기술부 21세기 프론티어 연구개발사업의 일환으로 발족한 ‘테라급나노소자개발사업단’의 나노 CMOS (상보형 금속 산화막 반도체) 과제 책임자인 신 교수는 “앞으로 20 ㎚의 테라급 소자를 개발할 계획”이라고 밝혔다. [아래의 내용은 과기부 공보관실 제공자료] "테라(TERA)급에 적용 가능한 50 나노미터(nm) 트랜지스터 개발" - 테라급 반도체 메모리 및 시스템 온칩(System-On-Chip)등의 차세대 반도체에 적용 가능 - ○ 테라급 반도체란 기본적으로 기가(Giga=109)급 반도체의 1천배 용량을 가지는 초대용량 메모리반도체이며, 현재 D램 분야 주력제품인 64MD램의 1만 6천배 이상, 256MD램의 4천배 이상에 달하는 정보를 저장할 수 있는 말 그대로 꿈의 반도체라고 할 수 있다. ○ 50 나노미터의 크기는 머리카락 굵기의 2천분의 1에 해당하는 매우 작은 크기로서, 50 나노미터 급의 소자를 개발하기 위해서는 반도체 제조 기술의 혁신적인 발전이 필요하고, 현재의 공정 기술을 이용하여 50 나노미터의 크기를 가지는 고성능 소자를 제작하기는 매우 어렵다. 또한, 인터넷을 손쉽게 사용하기 위해서는 매우 작은 크기의 정보 기기의 개발이 이루어져야 하고, 이는 시스템 온칩 등의 개념을 통해 실현되는데, 이를 위해 소형의 고성능 반도체 개발은 필수적이다. 당 연구팀은 현재의 반도체 제조 기술의 한계를 뛰어 넘을 수 있는 방법은 새로운 형태의 소자의 개발이라는 점에 착안, 현 공정 기술로는 얻을 수 없는 매우 얇은 소스/드레인 확장영역으로 전기적으로 형성된 반전층을 사용하는 새로운 형태의 소자를 세계 최초로 제안하였고, 이 구조에 관한 국내·외 특허를 출원하였다. ○ 본 연구는 작년 5월부터 삼성 전자(대표 윤종용)의 산학프로그램(연간 5000만원)으로 출발하였고, 금년 7월에 당 사업단이 출범하면서 1차년도에만 5억 5000만원의 연구개발비를 지원 받게되면서 가속되어 금번 50 나노미터 트랜지스터 개발에 성공하게 되었다. ○ 금번에 개발된 소자는 테라급의 반도체 메모리와 시스템 온칩(System On Chip)등의 차세대 반도체에 적용 가능하며, 이를통해 2010년 약 l조불 규모로 추산되는 세계 반도체 시장 전체를 주도할 수 있는 역량을 갖추는 데 큰 기여를 할 것으로 기대된다. ○ 향후 당 사업단에서는 2010년까지 210억원을 투입하여 실리콘 반도체 소자의 극한인 20 나노미터 급의 소자를 개발할 때까지 계속적인 지원을 할 예정이다. ※ 문의처 : 한국과학기술원 전자전산학과 신형철 교수 (042-869-3459, hcshin@ee.kaist.ac.kr) 카이스트 뉴스 |