| From : bio (김 용 진) Date : Sat Dec 26 18:40:23 1992 Subject: SF6 gas에 관한 데이타급구... 안녕하세요... 과기원 물리과의 김용진입니다. 여러 전공분야의 사용자들이 이용하시는 거 같아서 도움을 청하고저 글 올립니다. 제가 요즘하는 일이 반도체 제조공정중에서 플라즈마를 이용한 식각(etching) 인데요... 공정 시뮬레이션(컴퓨터를 이용한)을 하는데 아래와 같은 데이타가 필요 하거든요... 혹시 관련된 데이타나 도움말을 해 주실분이 있다면 부탁드립니다. On the dissociation of SF6 gas or other data on SF6 gas or other gases which are used for the etching of semiconductor materials, especially of Si or SiO2.� e-mail: yongjin@eve.kaist.ac.kr, cschang@hae1.kaist.ac.kr Tel: 042-869-2564 말씀주실 분은 포스팅으로 해주셔도 좋구요 전화나 e-mail로 � 연락주셔요... 김 용 진 올림. |